關于半導體制造工藝使用的掩膜技術開發,英特爾和大日本印刷日前宣布,將把現有的合作關系擴展到32nm工藝(hp45)。具體來說就是,將在EUV(Extreme Ultraviolet,遠紫外)曝光掩膜技術的開發中進行合作。
2000年以后,英特爾和大日本印刷在180nm到45nm(hp65)半導體制造工藝的掩膜技術開發中進行了合作。根據此次的決定,在保持現有合作關系的同時,將進一步強化未來的合作。
作為現有ArF曝光的下一代技術,在國際半導體技術開發藍圖(ITRS)中十分看好EUV曝光技術。為了實現EUV曝光,英特爾和大日本印刷將通力合作,以便能在適當的時期提供掩膜技術。